而光刻機(jī)另一大核心部件之一的工件臺(tái),在高速運(yùn)動(dòng)下需達(dá)到 2nm(相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的三萬分之一)的運(yùn)動(dòng)精度,它的定位精度直接影響了光刻出來的硅片的質(zhì)量. 這也奠定了光刻機(jī)超精密工件臺(tái)技術(shù)在超精密機(jī)械制造與控制領(lǐng)域的最尖端地位,被稱為超精密技術(shù)皇冠上的明珠.
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2.控價(jià)防竄
為了控亂價(jià)、防竄貨,為每件產(chǎn)品制定了一的身份信息
3.訂單系統(tǒng)
包括了充值管理、訂單管理、調(diào)貨管理、訂單提醒
4.返利系統(tǒng)
包括團(tuán)隊(duì)返利、業(yè)績返利、差價(jià)返利、推薦返利
在 2000 年前,光刻設(shè)備只有一個(gè)工件臺(tái),晶圓片的對準(zhǔn)與蝕刻流程都在上面完成.直到 2001 年,ASML 推出了 Twinscan 雙工件臺(tái)系統(tǒng),使得光刻機(jī)能在一個(gè)工件臺(tái)進(jìn)行曝光晶圓片,同時(shí)在另外一個(gè)工作臺(tái)進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)工作,并在第一時(shí)間得到結(jié)果反饋,生產(chǎn)效率提高大約 35%,精度提高 10% 以上.